مقايسه دو نوع زبرشدگي فوتورزيست در ابعاد نانو تحت سيستم خلاء

واضح آرشیو وب فارسی:ایرنا: به گزارش روز شنبه ايرنا از پايگاه اطلاع رساني انجمن خلاء ايران، فوتورزيست ماده اي شيميايي است كه دراثر اعمال نور به ماده اي مقاوم ومحكم تبديل مي شود. اين مواد در فرآيندهاي صنعتي از قبيل ليتوگرافي در ساخت قطعات نيمرسانا براي ايجاد طرح و الگو روي سطوح استفاده مي شود. فوتورزيست هاي ساخته شده بر پايه پلي- متيل- متاكريلات (PMMA) براي استفاده با تابش اگزايمر با طول موج 193 نانومتر طراحي مي شود (و به همين خاطر فتورزيست 193 نانومتري خوانده مي شوند) و نسبت به زبر شدگي سطح حساس هستند. ريز شدن روزافزون ابعاد در قطعات الكترونيك توجه محققين را به تغييرات جزيي سطح و لبه لايه فتورزيست در مقياس نانومتر جلب كرده است. به تازگي دانشمندان آمريكايي در قالب يك پژوهش، زبرشدگي سطح فوتورزيست هاي 193نانومتري وتغييرات شيميايي نمونه هاي عمل آوري شده در يك سيستم جفت شده القايي گاز آرگون پلاسما و يك سيستم باريكه خلاء فوق بالا را بررسي كرده اند. در اين پژوهش نمونه هاي فوتورزيست در سيستم تابش فرابنفش خلاءآرگون و تابش يونهاي آرگون قرار گرفتند و درسيستم باريكه خلاء، يك منبع پرتو فرابنفش خلاء خطي زنون و يا يك منبع پرتو فرابنفش خلاء لامپ آرگون با يونهاي آرگون برروي نمونه ها تابيده شد. دماي نمونه، شارفوتون، شار يون وانرژي يون نيز كنترل شده واندازه گيري شد. همچنين تغييرات شيميايي فوتورزيست وناهمواري هاي سطح نيز با طيف سنج مادون قرمز تبديل فوريه وميكروسكوپ نيروي اتمي تجزيه وتحليل شد. نتايج اين تحقيق حاكي از آن است كه در شرايطي كه نمونه هاي فوتورزيست در سيستم هاي باريكه خلاءوICP (بدون اعمال هيچ گونه ولتاژ باياس زيرلايه) فقط تحت تابش فرابنفش خلاء قرار بگيرند دچار زبر شدگي نمي شوند ولي با بمباران همزمان يونهاي انرژي بالا و تابش فرابنفش خلاء، ناهمواري ها افزايش يافته وتابعي از شاريدگي تابش فرابنفش خلاء، دماي زير لايه ونسبت شار فوتون به يون خواهند بود. گفتني است سونش نمونه هاي سيستم باريكه خلاء كه در آن محصولات سونيده به سرعت به خارج منتقل مي شوند چندان قابل توجه نيست. اين درحالي است كه درنمونه هاي تهيه شده در سيستم ICP ميزان سونش افزايش مي يابد كه ممكن است ناشي از آزاد شدن يونهاي هيدروژن واكسيژن محصولات گازي وسونش مواد شيميايي باقي مانده در محفظه باشد. رفتار و ساختار ناهمواري هاي سطح نيز بدون تغيير باقي ميماند كه مي تواند به هم افزايي يونهاي مثبت و فوتون فرابنفش نسبت داده شود.

این صفحه را در گوگل محبوب کنید

[ارسال شده از: ایرنا]

[مشاهده در: www.irna.ir]

[تعداد بازديد از اين مطلب: 414]